干式螺桿真空泵泵浦電控系統功能：

1、PIL控制器：負責真空泵泵浦系統運轉狀態監控、記錄；整合開關閥、加熱器、變頻器，并依設定值提供警告及警報訊息；提供適當的人機操作界面、通訊埠、控制訊號埠。

2、人機控制器：提供參數設定、運轉訊息顯示、警告訊息顯示、啟動、停止。

3、控制訊號埠：依規范SEMI E73-0299。

4、通訊埠：透過RS485網絡聯結，由PC監控。

圖為真空泵浦電控系統架構

圖為泵浦監控程序

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