關于德耐爾干式螺桿真空泵呢，特點在站內的產品信息里面展現了，小德就不啰嗦那么多了。但是，干式螺桿真空泵的魅力可不止這些！話不多說，直接進入主題！

干式螺桿真空泵規格涵蓋范圍：

單泵：抽速：80~800m³/hr

      工作壓力范圍：101325~10Pa

      極限壓力：1Pa

雙泵：抽速：300~4500m³/hr

      工作壓力范圍：101325~1.3*×10-1Pa

      極限壓力：0.1Pa

注：干式螺桿真空泵屬于中、高真空應用

腔體冷卻特色及選用說明：

間接水冷配件

冷卻水套（間接冷卻）

●依製程需求不同可提供殼體直接/間接水冷方案。
●直接水冷適合達40℃高溫環境使用。
●間接水冷可控制腔體良好均溫性，可維持製程物在氣態。

馬達特色及選用說明

水冷馬達

氣冷馬達

氣冷馬達自循環冷卻

●水冷馬達低噪音，適合週遭粉塵多的環境使用，不會因馬達風扇卡粉塵導致散熱不良。
●氣冷馬達標配為臺灣電機大廠大同馬達，也可依客戶需求搭配指定品牌。
●無冷卻循環水客戶可選用氣冷馬達+自循環冷卻機型。

軸封特色及選用說明

轉子特色及選用說明：

第一代—DPS系列；圓棒材加工；舊設計；排氣反覆壓縮；高溫、耗功。

第二代—DPS系列；平衡孔少；降低回漏率；提高真空度；溫度、耗功降低。

第三代—DPS系列；變導程設計；低溫、低耗功。

在半導體行業的應用，德耐爾推出干式真空泵高階機型。其特色有以下五點：

1、專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。

2、移動式操作界面，方便操作；顯示真空泵實際工作狀況，并可選中、英兩種文字顯示，切實貼近客戶。

3、軍規電源接頭，安全方便。

4、氮氣加熱器與殼溫控制，使真空泵更適應于CVD、PECVD等半導體制程。

5、控制訊號及通訊信號界面，可對真空泵進行遠端監控。

德耐爾真空泵，精加工技術，螺桿真空泵擁有核心主機制造技術，一流的檢測平臺為您提供高效穩定、節能環保的真空泵產品，歡迎留言咨詢或撥打德耐爾全國免費客服熱線：400-777-0802！