1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空 鍍膜要求 110-5mmHg 的真空度,選用的真空泵的真空度至少要 510-6mmHg。通常 選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。選擇泵的極限壓力低于技術請求約一個數量級。
 

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為 10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為 510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在 10-8mmHg 下長期工作。 又如鈦升華泵可以在 10-2mmHg 下工作, 但其工作壓強應小于 110-5mmHg 為好。
 

3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
 

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能 滿足抽氣要求, 需要幾種泵組合起來, 互相補充才能滿足抽氣要求。 如鈦升華泵 對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵, (或二極型非對稱陰極 濺射離子泵) 對氬有一定的抽速, 兩者組合起來, 便會使真空裝置得到較好的真 空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓 強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
 

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有 油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
 

6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?；覊m,有無腐蝕性等。挑選真空泵時，需求知道氣體成分，對于被抽氣體挑選相應的泵。假如氣體中富含蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應當思考在泵的進氣口管路上裝置輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
 

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
 

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許有污染, 應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。