超高真空與高真空系統的對比，超高真空主要用于研究表面，熱核反應，高能加速器，半導體研究，空間模擬等科學領域，由于這些現代科學的發展需要，大大促進了超高真空技術的發展。

 

 

      現代超高真空技術特點：

 

    

      1.真空裝置容量大，達到上千平方米，并且達到的真空度高；

 

    

      2.測試手段復雜，除了測試真空度外，還包括質譜分析，低能電子衍射，電子譜等；

 

    

      3.材料選擇用不銹鋼代替玻璃，密封材料多半使用銅；

 

    

      4.用低溫泵，各種鈦泵代替油擴散，用無油真空替代了有油真空；

 

      超高真空與高真空系統設計有不少相同之處，主要有：管路的流導計算；殼體強度計算；主泵抽速計算及泵之間匹配選擇；真空元件的清潔處理及檢漏等。

 

      超高真空與高真空系統設計也有許多不同之處：選擇真空泵的方法不同；對材料要求更為嚴格；密封結構和密封材料不同；采用了烘烤措施；焊接結構和方法不同；對漏率控制更為嚴格。